碳在工業用鈦棒中的溶解度小，所以基本上只有通過碳化鈦層及其下邊扠域的沉積層來實現表面硬化的目的。在脫除氧的條件下進行滲碳，因為適用于鋼常用滲碳的粉末對著一氧化碳或含氧的一氧化碳表面而形成的表面層硬度到2700MPa及8500MPa，很容易剝落。
　　在脫氧或脫碳條件下，于木炭中滲碳時可能形成一層薄的碳化鈦層。這層的硬度為32OUOMPa，符合于工業用鈦棒的硬度。滲碳層的深度大致大于在同等條件下用氮滲氮時滲氮層的深度。在氧較多的條件下要考慮到氧的吸收影響硬化深度。只有在很薄的層厚條件下，于真空中或氬-甲烷氣氛中滲人碳粉才可能形成粘附強度，采用氣體滲碳劑可能形成比較硬而粘結性良好的碳化鈦硬化層。
　　隨著層厚的增加，碳化鈦層變得比較脆，并且趨向于剝落為了避免由于芮烷分解而使碳的夾雜物侵人碳化鈦層，應采用大約體積分數為2%芮烷的規定劑量添加劑在惰性氣體中氣體滲碳。當采用丙烷添加劑而利用甲烷滲碳的時候就形成較低的表面硬度。當粘合伍力達到卯OkPa條件下在采用氣體滲碳的丙烷時，雖然測量出的硬化層厚度很薄，但卻具有良好的耐磨損性能。在采用氣體型滲碳劑條件下吸收氫，但是在真空退火時卻又要重新脫除它。